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產品詳細說明
67.0 系列專為半導體生產中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設計，用作下游控制和隔離閥。
工藝室中的氣流特性直接影響工藝速度和質量。雖然氣體流入傳統上在工藝設計中受到*多關注，但下游流動也為工藝優化提供了潛力。
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