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產品詳細說明
64.8 UHV 控制閘閥系列專為在半導體生產中的濺射或 EUV 等應用中的超高真空工藝中進行可靠、精確的控制和隔離而設計。它滿足耐用性、模塊化、密封性和可維護性的標準要求，特別注重高正常運行時間和低擁有成本。
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