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產(chǎn)品詳細(xì)說明
DXR+為ETEL的回轉(zhuǎn)模塊，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，配大型空芯軸，用于滿足半導(dǎo)體和電子行業(yè)的中端應(yīng)用對高性價比的要求。
DXR+的剛性得到顯著提高，對支撐回轉(zhuǎn)模塊的XY平臺的控制帶寬有直接的影響。DXR+模塊使用48 VDC至300 VDC之間總線電壓工作。可用AccurET 48或300模塊驅(qū)動，對于更高位置穩(wěn)定性要求的應(yīng)用可用AccurET VHP驅(qū)動。
與ETEL的許多其它模塊*樣，DXR+可安裝在所有標(biāo)準(zhǔn)XY平臺上。DXR+是單自由度模塊，支持任意的角度運(yùn)動。但可選配*定的角度運(yùn)動范圍，大約60°為*個單位。在*定條件下，DXR+的潔凈度可從ISO 5至ISO 1。
DXR+旋轉(zhuǎn)軸
DXR+模塊是滿足以下應(yīng)用要求的理想選擇：
運(yùn)動的平穩(wěn)性
中等精度要求（典型的跳動值大約為5 μm）
位置穩(wěn)定性在100 nm范圍內(nèi)，半徑150 mm時
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