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產品詳細說明
概述
該系統可以同時測量有涂層和無涂層部分的圖案尺寸，檢查有涂層和無涂層部分的缺陷。
使用高速攝像機和高速圖像處理板可以實現更高精度的測量和檢測，與以前的機型相比，能夠檢測的生產線速度比以前快四倍。
*與標準規格相比較
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