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產品詳細說明
新型白光干涉儀 IMS5600-DS 用于*高精度的距離測量。該控制器提供具有智能評估功能的特殊校準，并可實現亞納米分辨率的*對測量。干涉儀用于具有*高精度要求的測量任務，例如電子和半導體生產中。
特征
亞納米*精度的距離測量
*流：分辨率 < 30 皮米
*對測量，適用于臺階輪廓
緊湊而堅固的傳感器，具有大偏移距離
測量速率高達 6 kHz，可實現高速測量
通過網絡界面輕松配置
適用于真空的傳感器和電纜
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