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產品詳細說明
高速沖程
高速沖程 (FS-80N*高達200 spm)，讓結構緊湊、重量輕、成本低，可同時用于高流量及高壓力工況。
無污染設計
過流端采用氟樹脂無污染構造，使用獨有的軸封顯著降低顆粒的產生(已申請專利)。
高流量及高吐出壓力
*大吐出量高達0.7MPa，不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求，同時適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅動系統
內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
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