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產(chǎn)品詳細(xì)說明
分類： PSA系列
負(fù)載： 15kg
平面度/直線度： ±0.01mm/±0.005mm
速度： 1m/s
加速速度： 1G
行程： 140*140mm
重復(fù)定位精度： ±2μ
*對定位精度： ≤5μ
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