KLA 納米壓痕儀iNano系列

 　　iNano納米壓痕儀使測量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡單。準確、靈活、用戶友好的儀器可以進行多樣的納米材料力學測試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測試。大范圍的力和位移動態測量范圍允許對從軟聚合物到金屬的材料進行精確和可重復的測試。 模塊選項可以適配各種應用：材料性能分布圖、特定頻率的測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。iNano納米壓痕儀擁有*整套可擴展的測試選項，包括樣品加熱、連續剛度測量、NanoBlitz 3D/4D性能分布圖和遠程視頻選項。