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產品詳細說明
為化學品混合、加標和稀釋提供實時過程流體濃度測量，而無需過程干擾或中斷。
使用折射率測量 CMP 漿料和非導電液體（例如 H 2 O 2）
集成電子器件占地面積小，*大限度地減少了工具尺寸
HMI 軟件可實現實時數據記錄、分析和定制
窗口清潔端口可方便地清潔藍寶石窗口
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