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產品詳細說明
TBS是高精度的單自由度直線軸。這款直線軸采用機械式軸承間接驅動，在同類產品中提供出類拔萃的精準性和精確性。此直線軸由高性能、小齒槽的伺服電機驅動，采用雙編碼器的反饋控制模式，不僅性能卓越，而且調試簡單。*進的間接驅動控制以海德漢集團的編碼器技術為核心，這款直線軸還為宏動和微動運動在全行程上提供卓越的機械性能。
該直線軸還具有獨特的設計特性和選配功能，例如隔熱功能、高剛性和微米*的硬限位功能，可充分滿足應用對制程可靠和安全的嚴格要求。
該產品主要應用于半導體行業，也能滿足眾多不同行業的需求，滿足對高精準度、高潔凈度、高穩定性和高精確度的解決方案。
該產品適用但不限于以下應用：圓晶工藝控制應用，例如Overlay測量，關鍵尺寸和薄膜測量及光電應用。
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