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產品詳細說明
優化的微型環境提供 流的清潔度，性能優于 ISO 1
雙、超薄邊緣夾持晶圓處理為 苛刻的應用實現了快速的交換時間性能
直線運動晶圓引擎提供更簡單、更可靠的設置和故障排除
靈活、可配置的設計和 進的軟件支持縮短周期時間，并允許輕松集成、可維護性和可維護性 更多»本企業其它產品
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