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產(chǎn)品詳細說明
產(chǎn)品特點
1.復定位精度±1um 2.超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)無中座的薄且輕的機構(gòu) 3.透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現(xiàn) 4.中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學式檢查裝置或?qū)y試器使用 5.在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度 6.材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能 7.實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量
應(yīng)用場景
新能源鋰電池設(shè)備，手機3C設(shè)備，印刷機械，光伏設(shè)備，光伏設(shè)備，光纖設(shè)備，光學設(shè)備，光通訊，半導體設(shè)備。
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