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產(chǎn)品詳細說明
美國ACM RESEARCH 電鍍設(shè)備
電鍍設(shè)備
主要優(yōu)勢
水平式電鍍腔體，無交叉污染
可單腔體維護，提高設(shè)備正常運行時間（up time）
橡膠密封技術(shù), 更好的密封性能
二陽 技術(shù),更好地控制均 性
靈活的工序控制
特性和規(guī)格
兼容8寸和12寸
多可配至3個Load Port
多可配至4種預濕腔體，真空控制
多可配至4 個清洗腔體
多可配至20個電鍍腔體: Cu,Sn/Ag, Ni
設(shè)備尺寸: 2050 x 5950 x 2650 mm
工藝性能：
片內(nèi)均 性: <5% ( 大- 小/2 平均)
片間均 性＜3%
重復性: <3%
COP: < 2.0 µm
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