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產品詳細說明
前所未有的單磁控和雙磁控濺射功率控制
使用經過現場驗證的雙*脈沖直流技術將工藝性能提升到新水平。
*進的波形控制允許過程微調
適用于雙脈沖和單脈沖磁控濺射應用
緊湊的設計結合了直流和脈沖
PowerInsight by Advanced Energy? 數據收集和分析平臺（可選）
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