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產品詳細說明
Advanced Energy 的 Navigator II FCi 通過精確的功率傳輸和調整來改進過程控制。高速匹配網絡針對關鍵的、功率敏感的、持續時間短的等離子工藝步驟進行了優化。還支持傳統上由基于真空電容器的匹配網絡處理的傳統較長步長和較寬調諧范圍。通過高速調整，Navigator II FCi 提供了許多過程控制增強功能。
縮短等離子穩定時間
工藝配方轉換之間沒有等離子體丟失
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