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產品詳細說明
Zeta-388提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統結合，可實現全自動測量。該系統采用ZDot? 技術，可同時收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-388支持研發和生產環境，具有多模光學器件、易于使用的軟件、低擁有成本和SECS/GEM通信。
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